高纯度三甲基铝提纯工艺方法

高纯三甲基铝主要用于高效太阳能电池背部钝化膜的沉积，通过等离子体化学汽相沉积形成一层氧化铝膜层，该膜层既保持了太阳能电池背面场效应，使氧化铝与硅晶体界面的高复合速率区域大大减少，从而提高了太阳能电池的光电转换效率。三甲基铝中各种杂质会严重影响电池片的电性能，特别是微小固体颗粒杂质，即使是微米级的颗粒，不仅将破坏氧化铝钝化膜致密性，增加了与硅晶体表面电子复合，从而导致太阳能电池的效率下降，而且对于昂贵的气相沉积设备，其使用寿命将缩短。为了满足光电子材料高纯度、高精度的质量要求，高纯三甲基铝的纯度需达到99.9999％，否则就需要进一步提纯。在现有的三甲基铝提纯方法中，通过固液分离、蒸馏或精馏等方法可以有效的去除三甲基铝中的烃类、有机硅、烷基铝氧化物杂质。

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项高纯度三甲基铝提纯工艺方法，该技术与现有技术相比具有明显的有益效果，利用在惰性气体下，精馏与电除尘、微过滤相结合的方法提纯三甲基铝，通入的惰性气体通过置换空气减少系统水含量，降低三甲基铝缓慢水解的可能性，同时惰性气体经由三甲基铝溶液底部，起到气提的作用，可以增加三甲基铝中的烃类、有机硅、烷基铝氧化物等有机杂质去除效果；通过电除尘、微米过滤器进一步去除三甲基铝固体微小颗粒如氧化铝杂质，大于1um的固体颗粒数小于0.1p/ml,能满足高效太阳能电池工艺气相沉积膜工艺对原材料三甲基铝的质量要求。在惰性气体保护、气提下，通过电除尘、微米过滤器，能有效去除三甲基铝中杂质以及微小颗粒，得到的三甲基铝纯度大于99.9999％，现将该高纯度三甲基铝提纯工艺方法及实施例介绍如下供研究参考：（611311  681517）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
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