快速率单晶硅腐蚀液技术配方
单晶硅的腐蚀液需要用于腐蚀单晶硅或二氧化硅衬底上的单晶硅和多晶硅层，对腐蚀液的腐蚀性能要求比较高。因此，急需开发一款腐蚀速率快的单晶硅的腐蚀液。华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项快速率单晶硅腐蚀液技术配方，该技术单晶硅的腐蚀液适用于腐蚀单晶硅或二氧化硅衬底上的单晶硅和多晶硅层，该腐蚀液的腐蚀速率快，可减少处理过程中的毒性，现将该快速率单晶硅腐蚀液技术配方及实例介绍如下供研究参考：（811511 231622）
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