三氯化铁化学蚀刻液技术配方及制备方法

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。其中的化学蚀刻是指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。其原理是利用金属与蚀刻液进行化学反应形成可溶物体而进行去除反应部分，通过控制希望被去除部分和被保护部分来达到加工的目的。通常，在对模具钢等金属进行表面微结构的蚀刻加工时，要对模具钢等金属材料表面进行掩膜处理，即在被加工金属表面有选择地涂覆一层绝缘胶，涂覆绝缘胶的为不与蚀刻液发生反应的涂层，未涂覆绝缘胶的部分与蚀刻液进行化学反应。

蚀刻液对蚀刻加工的效果好坏起到关键的作用，现有的蚀刻液主要有以下几种类型：酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸和硫酸/双氧水蚀刻液等。华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项三氯化铁化学蚀刻液技术配方及制备方法，该技术产品蚀刻液，能够将所蚀刻金属成分中呈离子状态易结合生成难溶物质的镍、硅等离子转化生成可溶性盐，增强蚀刻液对金属的蚀刻能力，提高了反应速率。该蚀刻液可在工件表面掩膜覆盖部分自下而上发生侧蚀，侧蚀速率平稳，易于控制，被蚀刻加工的工件表面凹坑处易形成平滑过渡、截面形状近似正弦曲线的波谷，无明显棱边，具有较好的侧蚀效果。该蚀刻液的制备方法，简便易于操作，可制备得到稳定的蚀刻液，广泛应用于工业加工中，现将该三氯化铁化学蚀刻液技术配方及制备方法及实例介绍如下供研究参考：（841133  251459）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，
包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，
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