人造蓝宝石高精度研磨液技术配方

人造蓝宝石透镜具有透光性好，硬度高，耐磨损，线膨胀系数小，抗压强度高和耐酸碱腐蚀等特点，应用非常广泛。但是，由于人造蓝宝石具有硬度高(莫氏9级)、脆性大，晶体各向异性等特性，其加工难度也相当大，特别是高精度、高光洁度要求蓝宝石透镜的曲率半径表面的加工。研磨，是最常用的半导体晶片加工方法，其中使用研磨液的成分比例直接影响研磨的结果，因此，对研磨液进行改进可以大大优化工艺条件，提高成品率。研磨液的调配是提高研磨效果的重要因素，直接影响着研磨工艺去除被加工材料速率，被加工材料的表面平整度，粗糙度以及应力损伤。研磨液的调配难度大，复杂因素很多，例如研磨用磨料颗粒在溶剂中难以分散均匀，颗粒粒度尺寸大小不平均，研磨液长时间使用发生磨料颗粒团聚现象，由于磨料颗粒和切削材料残渣的凝积造成二次损伤，以及研磨液的PH值失调等。目前蓝宝石透镜曲率半径表面精加工主要采用金刚石微粉树脂结合剂磨具或常采用JR2W7的树脂磨具(或更细微粉)。在加工过程中，工件与磨具的接触面积不断增大，由于蓝宝石具有硬度高(莫氏9级)、脆性大，晶体各向异性等特性，会出现磨削不动现象，特别是在大直径蓝宝石透镜的精加工中，磨削不动现象更为明显。研磨液磨削效率较大，研磨过程中由于蓝宝石晶片与研磨液中固体颗粒在运动中进行不断的摩擦，因而会产生大量的热，若不及时将其分散带走，产生的热量堆积后会使其表面产生微小的形变，进而影响研磨质量.

华炬新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项人造蓝宝石高精度研磨液技术配方，该技术与现有技术相比，能有效地降低加工过程中的温度，进而减少“磨削不动”的可能；润滑性能好，沉积速率低，现将该人造蓝宝石高精度研磨液技术配方实例介绍如下供研究交流参考：（611571  331545）

该项目由华炬新产品研究所技术咨询委员会多位专家根据目前国内该领域最新技术推荐的新技术、新产品、新工艺，包括技术工艺、技术创新、技术配方、方法步骤及实例等方面的推荐，供同仁参考交流，鉴于技术配方的特殊性不接受退款，请根据需要斟酌后支付，谢谢。